一、产品概述

EFU 超薄型风机过滤机组，简称 EFU，设备端专用超薄风机过滤单元，专为安装空间高度受限场景开发，区别于传统标准厚度 FFU（常规 250‑350mm），整机箱体厚度可做到110‑190mm，极限定制 70‑100mm。

采用扁平 EC 直流无刷风机，集成初效、HEPA/ULPA 过滤器，无需吊顶龙骨，可直接螺栓固定在工艺设备顶部、设备腔体内部，构建机台内部 ISO1‑5 级局部百级 / 十级微环境。

遵循 ISO14644‑1、T/CRAAS 435‑2020、EN1822 标准；广泛用于半导体设备、晶圆机台、FPD 面板、锂电设备、精密灌装设备内部配套净化。

主流规格：575×575mm、610×610mm、575×1175mm、1175×1175mm，支持非标开孔、非标准长宽超薄定制。

二、工作原理

扁平 EC 风机抽取设备腔体内空气，经过 G4 初效过滤器拦截粗大粉尘，进入超薄优化静压腔完成气流稳压整流；气流通过 H13/H14/ULPA 超高效过滤器去除亚微米颗粒、微生物；洁净气流垂直 / 侧向送出，在机台内部形成稳定单向层流，保护晶圆、光学器件、药品物料。

整机结构不依赖重力压紧密封，水平、侧向垂直安装均可保证密封不漏风，适配设备腔体多角度装配工况。

三、整机标准结构组成

1. 超薄箱体镀铝锌钢板一体折弯；可选 SUS304 不锈钢、铝合金轻量化箱体；箱体高度 110‑190mm，可定制极限薄款 70‑100mm。
2. 扁平 EC 直流无刷风机总成（核心）超薄专用扁平离心风机，动平衡 G2.5 高级校正，低振动低发热；过载过热保护；支持 0‑100% 无级调速。
3. 两级过滤系统G4 板式初效过滤器 + H13/H14 HEPA / U15‑U17 ULPA 超高效过滤器；可选：AMC 化学过滤模块，去除气态分子污染物；密封可选橡胶压紧、液槽密封，预留 PAO 检漏口。
4. 安装固定结构法兰安装孔位，螺栓直接锁紧；自带搬运把手；支持水平平放、90° 垂直侧向安装。
5. 均流散流板超薄型均流网，保证出风口风速均匀，降低涡流。
6. 智能控制系统本地数显控制面板；支持 0‑10V、PWM、Modbus‑RTU RS485 通讯；单机控制、大规模集群监控；压差监测、故障报警输出。

四、核心产品优势

✅ 机身超薄，适配狭小夹层空间

解决工艺设备内部高度不足痛点，传统 FFU 无法装入设备夹层，EFU 超薄设计直接嵌入机台内部，无需改动设备主体结构。

✅ 多姿态安装，不受重力密封限制

支持水平、垂直侧向多角度安装，不依靠自重压紧密封，适配设备腔体复杂装配条件AAF(爱...。

✅ 低振动、低噪声，适配精密工艺

风机高等级动平衡校正，振动量极低，不会干扰光刻机、检测仪器精密器件；运行噪音≤53dB (A)。

✅ EC 变频智能管控

无级调速，支持上千台设备集中群控；可接入设备 PLC 系统，实现远程启停、调速、故障预警；可选定风量补偿功能，滤网堵塞自动补偿转速。

✅ 高等级过滤可选

支持 ULPA 超高效过滤器，实现 ISO1‑3 级十级微环境，满足半导体前道严苛要求；可加装化学过滤器处理 AMC 气态污染。

✅ 维护便捷

过滤器机台侧可拆装；配置压差监测，直观掌握过滤器寿命；支持现场 PAO 完整性检漏。

✅ 材质方案丰富

镀锌板、304 不锈钢、铝合金轻量化可选，适配普通、高湿、腐蚀工况。

五、常规技术参数