产品简介

FFU 化学过滤器是专为吊顶 FFU 风机过滤单元开发的薄型板式气相过滤模块，参照 SEMI F21 AMC 分子污染控制规范，安装于 FFU 内部，位置：风机段与 HEPA/ULPA 之间，或 HEPA 下游出风面。普通 HEPA 只能过滤固体颗粒，无法去除气态分子污染物；FFU 化学过滤器通过物理吸附 + 化学中和，去除洁净室内循环空气中 AMC 四类分子污染物（酸性 MA、碱性 MB、可凝有机物 MC、掺杂物质 MD），解决光刻胶 T 型顶缺陷、晶圆腐蚀、镜头结雾、产品污染问题，多用于半导体、面板、高端锂电、特种 GMP 洁净室局部分子污染控制。

区别：箱式化学过滤器一般放在 MAU/RAU 新风空调箱；FFU 化学过滤器是吊顶 FFU 内部薄模块，处理室内循环风，作为点位式分子污染防护。

结构与材质

1. 外框：铝合金框（主流，低释气）、镀锌钢板、304 不锈钢；适配标准 FFU 内尺寸：575×575、1175×575，厚度 35‑70mm 薄型设计，不改动 FFU 吊顶龙骨框架。
2. 滤料形式：蜂窝夹碳滤料 / 褶式浸渍化学滤料；低析出、低发尘，不释放挥发性有机物，避免二次 AMC 污染。
3. 过滤介质（按需选型）
   • 活性炭介质（MC）：吸附 VOC、有机溶剂、可凝性有机物、异味；
   • 酸性浸渍介质（MA）：去除 HF、SO₂、NOₓ、H₂S 等酸性腐蚀性气体；
   • 碱性浸渍介质（MB）：去除氨气、胺类、NMP 等碱性污染物；
   • 混合床复合介质：同时处理酸 + 碱 + VOC 多种混合气体；
4. 护网：双面耐腐蚀金属防护网，防止吸附介质颗粒散落泄漏进入洁净区；
5. 密封：低释气 EPT/EVA 密封垫片，整机压紧密封，杜绝气体旁路短路。

重要：FFU 化学过滤器不可水洗、不可烘烤再生，吸附饱和直接整体更换。

产品特点

• ✅ FFU 原位点位净化：直接装入现有标准 FFU，无需改造吊顶与空调系统，对关键工艺区域做局部 AMC 防护。
• ✅ 低阻力薄型设计：厚度薄，对 FFU 风机风压、层流风速影响小，保障 0.36‑0.45m/s 标准层流风速要求。
• ✅ 低释气低发尘：洁净室级滤料与密封件，自身不挥发污染物，不会污染晶圆、光刻、光学器件。
• ✅ 靶向化学过滤：根据现场污染物组分定制介质配方，针对酸、碱、VOC、臭氧做专一去除。
• ✅ 拆装维护便捷：跟随 FFU 高效过滤器同步拆装，模块化整体替换。
• ✅ 适配标准规格：兼容市面主流 575、1175 尺寸 FFU，支持非标定制厚度与尺寸。

⚠️注意：FFU 化学过滤器主要处理室内循环风的分子污染；新风端 MAU 仍建议配置箱式化学过滤器做第一道防线，减轻 FFU 化学过滤器负荷，延长寿命。

技术参数

更换周期参考：低 AMC 负荷 8‑24 个月；工艺区域高污染负荷 3‑8 个月，以现场 AMC 检测数据为准。

应用场景

1. 半导体、面板光刻区、蚀刻区 FFU：控制 MA/MB/MC 分子污染，避免光刻胶缺陷、晶圆腐蚀、镜头起雾，符合 SEMI F21 标准。
2. 新能源锂电车间关键工序：去除电解液挥发有机物、碱性胺类物质。
3. 生物医药高等级 GMP 车间（EU GMP Annex1）：局部点位去除溶剂挥发、酸碱气态污染物。
4. 理化实验室、动物房局部层流单元：控制氨气、试剂挥发气体。
5. 精密光学、航天元器件制造洁净棚 FFU：保护光学组件不受气态腐蚀。

安装与维护说明

1. 气流方向确认：滤料介质层朝向迎风气流；垫片完整，四周压紧，严防旁路漏气；停机状态下拆装。
2. 系统层级建议：新风 MAU 箱式化学过滤 → 洁净室循环 FFU+FFU 内置化学过滤器，两级气相防护，减轻 FFU 化学过滤器负担。
3. 监测手段：压差表监测阻力，必须配合现场 AMC 气体检测，压差不能作为饱和唯一依据；气体检出超标即必须更换。
4. 严禁水洗、烘烤、暴晒再生；吸附饱和整体更换。
5. 废弃处置：吸附有毒有害介质的过滤器按当地危废规范处置，不可当作普通固废丢弃。
6. 库存产品需密封包装存放，避免提前接触空气造成介质提前吸附失效。