‌FFU化学过滤器‌是一种安装在FFU（风机过滤机组）
中的过滤器，通常位于HEPA/ULPA过滤器的上游位
置。它的主要功能是去除有害气体，确保洁净室内
的空气质量符合特定的环境要求。

板式化学过滤器‌是一种用于去除空气中特定化学污染物的设备，
主要通过吸附作用来净化空气。它通常包含活性炭或其他吸附
材料，能够有效地去除空气中的有害气体和异味。

‌箱式化学过滤器‌是一种专门设计用于
清除空气中的化学气体污染物的设备，
主要通过活性炭的吸附作用来去除空
气中的有害气体。活性炭表面有大量
微孔，这些微孔提供了巨大的吸附面
积，能够有效地吸附空气中的有害气
体分子。